உயர் தூய்மை அலுமினா செராமிக்ஸ் (Al)2O3:>99.7%)
–அலுமினா வேஃபர் மெருகூட்டும் தட்டு / சுழல் மேசை
-எல்சிடி உற்பத்தி உபகரணங்களுக்கான பெரிய அளவிலான உயர் தூய்மை அலுமினா அடிப்பலகை
உயர் தூய்மை அலுமினாAl2O3:>99.7%
குறைக்கடத்தி, பெட்ரோலியம், இரசாயனம், ஒளிமின்னழுத்தம், எல்சிடி போன்ற தொழில்களில் இயந்திர பாகங்கள், மின்னணு பாகங்கள், மைக்ரோவேவ் தூண்டல் வட்டு, காப்பு பாகங்கள் போன்றவையாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. குறைக்கடத்தி சாதனங்கள், வெற்றிட உபகரணங்கள், திரவப் படிக உற்பத்தி உபகரணங்கள் மற்றும் பிற கூறுகளைத் தயாரிப்பது போன்றவை இதில் அடங்கும். உதாரணமாக, பெரிய அளவிலான உயர் தூய்மை அலுமினா செராமிக் வேஃபர் பாலிஷிங் பிளேட் / டர்ன் டேபிள் என்பது இரசாயன இயந்திர பாலிஷிங்கில் உள்ள CMP-யின் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், மேலும் இது எல்சிடிக்கான அலுமினா பேஸ்போர்டாகவும் பயன்படுகிறது.
உயர் தூய்மை Al2O399.7% -99.9%
உயர் இயந்திர வலிமை
அதிக தேய்மான எதிர்ப்பு
உயர் மின் காப்பு
உயர் இரசாயன நிலைத்தன்மை
நல்ல வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்புத்திறன்
PIBM தன்னிச்சையான திடமாதல் அமைப்பின் சுயாதீன அறிவுசார் சொத்துரிமையை நாங்கள் கொண்டுள்ளோம், மேலும் உயர்தரமான நுண் பீங்கான் கூறுகளைத் தொழில்முறையாக உற்பத்தி செய்கிறோம்.
இந்தப் புதிய தொழில்நுட்பமானது, தயாரிப்புச் செயல்பாட்டின்போது பெரிய அளவிலான ஈரமான பீங்கான் வார்ப்புருக்களில் ஏற்படும் உருக்குலைவு மற்றும் விரிசல் பிரச்சனைகளைத் தீர்த்து, பாரம்பரிய முறைகளில் தயாரிக்கப்படும் பெரிய அளவிலான பீங்கான் பாகங்களின் தயாரிப்பு செயல்திறனை குறிப்பிடத்தக்க அளவில் மேம்படுத்துகிறது.
கெம்ஷுன் செராமிக்ஸின் அலுமினா செராமிக்ஸ் சபையர் லேப்பிங் வேஃபர் பாலிஷிங், PIBM உற்பத்தி செயல்முறையாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இது ஒரு சர்வதேச மேம்பட்ட தொழில்நுட்பமாகும். பெரிய அளவிலான அலுமினா செராமிக்ஸில் ஏற்படும் விரிசல் மற்றும் உருக்குலைவு போன்ற முக்கியப் பிரச்சனைகளை PIBM வெற்றிகரமாகத் தீர்க்கிறது. PIBM தொழில்நுட்பம், சிறந்த செராமிக்ஸ் துறைக்கு மற்றொரு புதிய வழியைத் திறக்கும். நாங்கள் உயர்தர அலுமினா செராமிக் வேஃபர் பாலிஷிங் தகடுகளை உற்பத்தி செய்வது மட்டுமல்லாமல், LCD உற்பத்தி உபகரணங்களுக்கான 1200x500x20mm செராமிக் சப்ஸ்ட்ரேட்டுகள், செமிகண்டக்டர் டெலிவரி டிராக்குகள், வெற்றிட பாகங்கள், பொதுவான இயந்திர பாகங்கள், குண்டு துளைக்காத செராமிக்ஸ் போன்ற பெரிய அளவிலான, அதிக தூய்மையான அலுமினா செராமிக்ஸின் பிற தொடர்களையும் உற்பத்தி செய்கிறோம்.
1. அலுமினா வேஃபர் மெருகூட்டும் தட்டு / சுழல் மேசை. வட்டு, வளைய அளவு 850 மிமீக்குக் கீழ், தடிமன் 45 மிமீ.
2. எல்சிடி-க்கான ஆதரவு ஏற்பிகள்/தாங்கித் தகடாகப் பயன்படும் அலுமினா அடிப்பலகை. இதன் வடிவங்கள் நீள்பலகை, நீள் பட்டை, சதுரப் பலகை, 1500*600 மிமீ-க்குக் குறைவான அளவிலான மெல்லிய பலகை ஆகும். எடுத்துக்காட்டாக: 1200x500x20, 1400x900x30 போன்றவை.
3. 1000 * 45 * 45 மிமீ-க்குக் குறைவான வழிகாட்டி தண்டுகள்.
4. 300 ~ 600 × L500mm-க்குக் குறைவான அளவுள்ள காலிக் குழாய்கள், உருளைகள், மின்சார வெற்றிடக் குழாய்கள் போன்றவை.
5. பல்வேறு வடிவ பாகங்களைக் கொண்ட தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்புகள் ஏற்றுக்கொள்ளப்படுகின்றன.
| சொத்து | பொருள் | அலகு | Chemshun 99.7% அலுமினா பீங்கான்கள் |
| பொதுவான பண்புகள் | முக்கிய கூறு | எடை சதவீதம் | 99.7-99.9 |
| அடர்த்தி | ஜிஎம்/சிசி | 3.94-3.97 | |
| நிறம் | - | தந்தம் | |
| நீர் உறிஞ்சுதல் | % | 0 | |
| இயந்திரவியல் | வளைவு வலிமை (MOR) 20 ℃ | Mpa(psix10^3) | 440-550 |
| மீள் குணகம் 20℃ | GPa (psix10^6) | 375 | |
| விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை | ஜிபிஏ (கிலோ/மிமீ²) ஆர்45என் | >=17 | |
| வளைவு வலிமை | ஜிபிஏ | 390 | |
| இழுவிசை வலிமை 25℃ | MPa(psix10^3) | 248 | |
| முறிவு உறுதித்தன்மை (KI c) | Mpa* மீ^1/2 | 4-5 | |
| வெப்ப பண்புகள் | வெப்பக் கடத்துத்திறன் (20℃) | W/mk | 30 |
| வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (25-1000℃) | 1x 10^-6/℃ | 7.6 | |
| வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு | ℃(∆ Tc) | 200 | |
| அதிகபட்ச பயன்பாட்டு வெப்பநிலை | ℃ | 1700 | |
| மின் பண்புகள் | மின்காப்பு வலிமை (1MHz) | ஏசி-கேவி/மிமீ (ஏசி வி/மில்) | 8.7 |
| மின்காப்பு மாறிலி (1 மெகாஹெர்ட்ஸ்) | 25℃ | 9.7 | |
| கன அளவு மின்தடை | ஓம்-செ.மீ (25℃) | >10^14 | |
| ஓம்-செ.மீ (500℃) | 2×10^12 | ||
| ஓம்-செ.மீ (1000℃) | 2×10^7 |

ஒவ்வொரு தொகுதி தயாரிப்புகளும் தொழிற்சாலை ஆய்வகத்திலும் தேசிய ஆய்வு மையத்திலும் பரிசோதிக்கப்படுகின்றன.