கெம்ஷுன்அலுமினா வேஃபர் பாலிஷிங் தட்டுஇந்த டர்ன் டேபிள், 99.7-99.9% உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினாவால் ஆனது. உயர் தூய்மை அலுமினா செராமிக், வேஃபர் பாலிஷ் செய்வதற்குத் தேவையான சிறந்த விறைப்புத்தன்மையையும், தேய்மானத்தைத் தாங்கும் திறனையும் கொண்டுள்ளதுடன், நீண்ட காலத்திற்கு அதன் நல்ல மேற்பரப்பு வடிவத்தையும் பராமரிக்கிறது. இது PIBM தொழில்நுட்பத்தால் வடிவமைக்கப்படுகிறது. அதன் இணையற்ற வெப்ப மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மை, மற்றும் கடுமையான மைக்ரோசிப் செயலாக்க உபகரணச் சூழல்களைத் தாங்கும் திறன் ஆகியவற்றின் காரணமாக, இது குறைக்கடத்தித் துறையில் ஒரு முக்கிய அங்கமாக விளங்குகிறது.
இரசாயன-இயந்திரவியல் சமதளமாக்கல் (CMP), இரசாயன-இயந்திரவியல் மெருகூட்டல் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது, இது குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்திச் செயல்முறையில் உள்ள ஒரு தொழில்நுட்பமாகும். இது செயலாக்கத்தின் போது சிலிக்கான் தகடுகள் அல்லது பிற அடி மூலக்கூறுப் பொருட்களைச் சமதளமாக்குவதற்கு இரசாயன அரிப்பு மற்றும் இயந்திர விசைகளைப் பயன்படுத்துகிறது.
CMP உபகரணமானது முக்கியமாக மெருகூட்டும் பகுதி மற்றும் சுத்தம் செய்யும் பகுதி என இரண்டு பகுதிகளாகப் பிரிக்கப்பட்டுள்ளது. மெருகூட்டும் பகுதியானது, 3 மெருகூட்டும் சுழல்மேசைகள் மற்றும் ஒரு வேஃபர் ஏற்றுதல் மற்றும் இறக்குதல் தொகுதி என 4 பாகங்களைக் கொண்டுள்ளது. சுத்தம் செய்யும் பகுதியானது, வேஃபரை உள்ளே உலர்த்தி உலர்த்தி, அதன் மூலம் வேஃபரை முழுமையாக உலர வைக்கும் பணியைச் செய்கிறது. இந்த முழு மெருகூட்டும் உபகரணத்திலும், அலுமினா செராமிக்ஸ் ஒரு முக்கியப் பங்கு வகிக்கிறது.
உயர் தூய்மை, அதிக வேதியியல் நிலைத்தன்மை, மற்றும் மேற்பரப்பு வடிவம் மற்றும் சொரசொரப்பு ஆகியவற்றின் மீது சிறந்த கட்டுப்பாடு தேவைப்படும் வேஃபர் மெருகூட்டும் வட்டுகளைத் தயாரிக்க, அலுமினா பீங்கான்கள் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
கெம்ஷுன் 99.7% Al2O3 செராமிக் அரைக்கும் வட்டு, மேம்பட்ட செராமிக் பொருட்களால் ஆனது. இது பல்வேறு பொருட்களை, குறிப்பாக வேஃபர்கள், செராமிக்ஸ் மற்றும் கண்ணாடி போன்ற உடையக்கூடிய பொருட்களை மென்மையாக அரைப்பதற்கு ஏற்றது. எங்கள் செராமிக் அரைக்கும் வட்டை, வெவ்வேறு அரைத்தல் மற்றும் மெருகூட்டல் மாதிரிகளுக்கு ஏற்ப பல்வேறு அளவுகளில் உருவாக்க முடியும்.
பதிவிட்ட நேரம்: மே-30-2025